产品描述
TP930为桌上型半自动晶圆检测设备，为研发阶段到量产阶段的晶圆设计提供可验证的检测技术
产品特性
• 最高精度0.5um
• 精准晶圆定位系统
• 21项芯片线路缺陷检测
• 18项切割道缺陷检测
• 14项探针痕缺陷检测
• 支援non-patterned晶圆检测
• 快速设定与直觉性操作
